Mikroelektromehanički uređaj i način izrade istih
Sep 16, 2022
Ostavi poruku
1. Predmetni pronalazak se odnosi na mikroelektromehaničku napravu i njenu proizvodnu metodu.
Pozadinska tehnika:
2. Mikroelektromehanički uređaj (mems) je tehnologija razvijena sveobuhvatno na bazi tehnologije mikroelektronike, tehnologije proizvodnje poluprovodnika i drugih disciplina, koja integriše više tehničkih polja kao što su litografija, korozija, taloženje tankog filma, mikromašinska i precizna obrada, čime se ostvaruje minijaturizacija preciznih uređaja kako bi se zadovoljile potrebe različitih aplikacija. Uobičajeni mems uređaji uključuju akcelerometre i žiroskope.
3. Trenutni mems akcelerometri ili žiroskopi uglavnom koriste dvije ili više konstrukcija konzolne grede za podršku bloka mase. Blok mase se može pomjeriti zbog ubrzanja ili se može pokrenuti da oscilira, dok se mjeri promjena kapacitivnosti uzrokovana blokom mase. Ubrzanje i ugaona brzina se mogu mjeriti. Međutim, proces proizvodnje konzolne grede je kompliciran, te je podložan nastanku problema neravnoteže naprezanja među konzolnim gredama.
Kontaktiraj nas:
Email: zhang@pride-cnc.com
Tel: plus 86-755-23699351
Mob: plus 8618666663894