Projektovanje i način izrade PMUT-a sa izolacionim rovom

Projektovanje i način izrade pmuta sa izolacionim rovom

tehnička oblast

1. Predmetni pronalazak se odnosi na tehničku oblast pmut-a, posebno na dizajn i metodu pripreme pmut-a sa izolacionim rovom.

Pozadinska tehnika:

2. MEMS tehnologija je tehnologija mehatroničkog sistema mikro razmjera razvijena posljednjih decenija. Na osnovu mems tehnologije, istraživači su dizajnirali i proizveli mikromašinski ultrazvučni pretvarač. U poređenju sa tradicionalnim ultrazvučnim pretvaračima, ima prednosti minijaturizacije, integracije, visokih performansi i niske cene, i postao je jedan od važnih pravaca istraživanja ultrazvučnih pretvarača. Prema principu rada, mut se može podijeliti na kapacitivne mikromašinske ultrazvučne pretvarače i piezoelektrične mikromašinske ultrazvučne pretvarače. cmut obično zahtijeva visok DC prednapon da bi zadovoljio visoku osjetljivost prijenosa i prijema, što uzrokuje određene poteškoće u dizajnu kola i integraciji i proizvodnji uređaja. cmut obično zahtijeva visok DC prednapon da bi zadovoljio visoku osjetljivost prijenosa i prijema, što uzrokuje određene poteškoće u dizajnu kola i integraciji i proizvodnji uređaja. U poređenju sa cmut, pmut ne zahteva visok napon da bi dobio visoku osetljivost, i ima mali uticaj parazitske kapacitivnosti, nisku potrošnju energije i lako se integriše sa CMOS kolima. Osnovni princip pmut-a je uglavnom piezoelektrični efekat. Kada se piezoelektrični kristal deformiše primjenom vanjske sile u određenom smjeru, pozitivni i negativni suprotni naboji će se generirati na dvije suprotne površine kristala, što se naziva pozitivnim piezoelektričnim efektom; a kada se električno polje primjenjuje u smjeru polarizacije kristala, to će uzrokovati da se kristal deformiše, a kristal se vraća u svoj prvobitni oblik nakon uklanjanja električnog polja. Ovaj fenomen se naziva inverzni piezoelektrični efekat. Kada se pmut koristi kao predajnik, napon između gornje i donje elektrode uzrokuje da piezoelektrični sloj ima inverzni piezoelektrični efekat, koji generiše visokofrekventne vibracije, a zatim zrači ultrazvučne talase; kada se koristi kao prijemnik, zvučni pritisak djeluje na piezoelektrični sloj, što rezultira deformacijom. Zbog pozitivnog piezoelektričnog efekta uzrokuje stvaranje električnog signala između gornje i donje elektrode. Osnovna struktura pmut-a je tipična struktura suspendiranog filma, piezoelektrični sloj je između gornjeg i donjeg sloja elektrode, a najdonji supstrat je općenito izolacijska podloga silicij (silicij-na-izolator, soi). Izolacijski sloj je obično silicijum dioksid (sio2). Glavna funkcija u radnom procesu je struktura visećeg filma sastavljena od gornje elektrode, piezoelektričnog sloja, donjeg elektrodnog sloja i izolacionog sloja.

Kontaktiraj nas:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel: plus 86-755-23699351

Mob: plus 8618666663894