Metoda izrade čipa senzora koštane provodljivosti

1. Ova tehnologija se odnosi na tehničku oblast uređaja za mikro-elektro-mehanički sistem (mems), posebno na čip senzora koštane provodljivosti.

Pozadinska tehnika:

2. Brzim razvojem mems tehnologije nastao je mems čip senzora koštane provodljivosti (u daljem tekstu čip senzora koštane provodljivosti). Konvencionalni čip senzora koštane provodljivosti obično uključuje zadnju ploču i vibrirajuću membranu postavljenu nasuprot, a masa je okačena na stranu vibrirajuće membrane dalje od stražnje ploče. Blok mase osjeća vibraciju kosti koju stvara vibracija glasnih žica i stvara mehaničku vibraciju. Mehanička vibracija bloka mase pokreće vibrirajuću membranu da vibrira, čime se mijenja razmak između zadnje ploče i vibrirajuće membrane, a zatim mijenja signal kapacitivnosti, kako bi se ostvarila detekcija zvučnog signala. . Međutim, osjetljivost konvencionalnog senzorskog čipa za koštanu provodljivost nije vrlo stabilna, što ograničava polje njegove primjene.

Kontaktiraj nas:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel: plus 86-755-23699351

Mob: plus 8618666663894